130dBの広ダイナミックレンジ、70dB超のSNR、190~1100nmの分光波長帯域、毎秒2000万コマ／秒、0.1aFの容量検出精度等の性能を有する、東北大学発の技術で実用化してきた先進イメージセンサ技術と、これらを用いた高精度半導体製造技術への応用の取り組みと展望について紹介します。